UV臭氧清洗是通過(guò)照射能量比作為污染物的有機(jī)化合物的結(jié)合能更強(qiáng)的紫外線來(lái)分解有機(jī)化合物的清洗方法。

在大氣（含氧的環(huán)境氣體）中，通過(guò)紫外線照射產(chǎn)生臭氧（O3）和激發(fā)態(tài)活性氧（O）。
活性氧具有的氧化能力，會(huì)立即與未結(jié)合的有機(jī)化合物發(fā)生氧化反應(yīng)。這會(huì)產(chǎn)生簡(jiǎn)單的分子，如 CO2、H2O 和 O2，它們從表面蒸發(fā)，同時(shí)去除（清潔）有機(jī)物質(zhì)。

與使用清洗液的濕式清洗不同，UV臭氧清洗可以減少對(duì)環(huán)境的影響，并且不會(huì)像使用放電的等離子清洗那樣對(duì)工件造成熱量或靜電損壞，具有以下特點(diǎn)。